射頻電源目前主要被用來在低壓或常壓下產(chǎn)生等離子體。由于不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果，如半導(dǎo)體設(shè)備中的去膠機(jī)；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要，如半導(dǎo)體設(shè)備中的刻蝕機(jī)。
射頻電源已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備；LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)；科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的等離子體發(fā)生；射頻感應(yīng)加熱；醫(yī)療美容；常壓等離子體消毒清洗等。
