在非均勻磁場(chǎng)中工作的一種弧放電離子源它的電極系統(tǒng)和磁系統(tǒng)都經(jīng)過精心安排,使得放電產(chǎn)生的等離子體發(fā)生兩次收縮(幾何箍縮和磁箍縮)。由于引出的離子流強(qiáng)度大、亮度高、而主體結(jié)構(gòu)又比較緊湊,使用十分普遍。
大功率的雙等離子體離子源能產(chǎn)生安培級(jí)以上的正離子束,是一種有效的強(qiáng)流離子源。正離子被中和以后,就轉(zhuǎn)化為中性束。從雙等離子體離子源中可以直接引出負(fù)離子束,也可以先引出正離子束,再用間接方法得到負(fù)離子。
雙等離子體離子源和 PIG離子源的綜合。大功率的雙彭源是一種單電荷態(tài)的強(qiáng)流離子源,可以引出安培級(jí)以上的離子流。
小型裝置也有用來作為多電荷重離子源的。
從外形結(jié)構(gòu)看,雙彭源只是在雙等離子體離子源的陽(yáng)極外側(cè)增設(shè)一個(gè)對(duì)陰極。但從放電原理看,它兩種離子源有很大差別。前三個(gè)電極組成類似于雙等離子體離子源的系統(tǒng),看作是一個(gè)電子源。由于對(duì)陰極上加有和中間電極相同或更負(fù)些的電壓,電子就在 中間電極和對(duì)陰極之間反射振蕩,改善了電離。
轉(zhuǎn)荷型負(fù)離子源
利用正離子束轉(zhuǎn)荷產(chǎn)生負(fù)離子的裝置。正離子束與固體物質(zhì)表面相互作用,或通過氣體靶俘獲電子就能轉(zhuǎn)化成負(fù)離子束。正離子束可以由小型雙等離子體離子源提供。如果采用高頻離子源,只要把引出電極的孔道加長(zhǎng),就能得到負(fù)離子束。